O fenômeno físico do espalhamento coerente dos raios X no cristal é chamado de difração, mesmo que ocorra em um ângulo baixo. Por exemplo, se uma fase tiver um valor ad de 31,5A e uma difração correspondente de 2,80° (Cu-Kα), o pico de 31,5A ainda será muito acentuado se a fase tiver um alto grau de cristalinidade. Filmes finos também podem produzirDifração de raios Xconcentrado em uma pequena faixa de ângulo dependendo da espessura e microestrutura do filme. Nestes casos, a intensidade de espalhamento de raios X de pequeno ângulo da amostra vem principalmente da difração da amostra, que é chamada de difração angular de raios X.

A irradiação de raios X para partículas de pó ultrafinas também causa um fenômeno de espalhamento coerente, que também ocorre na região de baixo ângulo. No entanto, as características do padrão de espalhamento coerente produzido pelas partículas finas são completamente diferentes das características do padrão de espalhamento de pequeno ângulo.Raio Xpadrão de difração produzido pelo grande espaçamento entre faces do cristal ou filme fino acima.

Ângulo Pequenodifração é geralmente usado para determinar o espaçamento de faces cristalinas muito grandes ou a espessura de filmes finos, bem como a estrutura microperiódica de filmes finos e a distribuição de furos periódicos.