Em feixe paraleloDifração de raios Xanálise, um cristal óptico de colimação multicapilar pode ser usado para formar um feixe excitado de raios X paralelo de alta intensidade, resultando em uma intensidade de raios X muito alta na superfície da amostra. A definição de difração de raios X é

Para a geometria do feixe paralelo, a posição da amostra pode mudar, e o sistema XRD não está mais limitado ao tornar a distância entre a fonte de raios X e a amostra igual à distância entre a amostra e o detector. A flexibilidade da geometria pode ser adaptada às condições de fabricação existentes e pode ser usada para uma ampla gama de formatos e tamanhos de amostras. Feixe paraleloDRXnão é apenas insensível a erros relacionados ao deslocamento da amostra; Praticamente todas as outras funções de erro instrumental bem conhecidas também são eliminadas.

XRD de feixe paralelo usandoRaio Xcristais ópticos foram aplicados com sucesso na análise de filmes finos e avaliação de textura de amostras.