O gerador de raios X é composto por tubo de raios X, gerador de alta tensão, pressão do tubo e circuito de estabilização de fluxo do tubo e circuito de proteção. Aqui nos concentramos emTubos de raios X. A essência do tubo de raios X é um diodo de vácuo, o cátodo é um fio de tungstênio, o ânodo é uma folha de metal. Quando uma corrente é aplicada a ambas as extremidades do cátodo, o fio de tungstênio aquece, produzindo elétrons que irradiam calor. Esses elétrons são acelerados sob um campo elétrico de alta tensão, bombardeando o ânodo (também conhecido como alvo) e produzindoraios X(este processo gera muito calor e para proteger o alvo é necessário garantir que o sistema de circulação de água esteja funcionando corretamente).

Os alvos anódicos comuns são: Cr, Fe, Co, Ni, Cu, Mo, Ag, W, o mais comumente usado é o alvo Cu. O comprimento de onda dos raios X e a tensão operacional dos alvos comumente usados ​​são mostrados na tabela abaixo: