Oestágio de amostra multifuncionalé um equipamento experimental altamente integrado usado principalmente nas áreas de ciência de materiais, fabricação de semicondutores, análise de microscopia eletrônica, etc. Suas principais características são design modular, integração multifuncional e controle de alta precisão.

um、 As principais funções e características estruturais doestágio de amostra multifuncional

1. Design modular deestágio de amostra multifuncional:

Várias funções são alcançadas por meio de diferentes combinações de módulos, como módulo de acoplamento de autorrotação (velocidade de 0 a 20 revoluções por minuto, com limite de zero), módulo de elevação (curso padrão de 50 mm/100 mm, personalizável), módulo de aquecimento (temperatura máxima de até 1100 ℃), etc.

Suporte à conexão de alimentação CC/RF para atender às necessidades de crescimento de filme fino, limpeza de amostras ou formação de filme auxiliar.

2. Controle de alta precisão e sensores paraestágio de amostra multifuncional:

Equipado com sensores de temperatura, pressão e outros, monitoramento em tempo real dos parâmetros ambientais da amostra e ajuste de aquecimento, resfriamento e outras operações por meio do sistema de controle.

Alguns modelos integram módulos defletores pneumáticos para facilitar a operação.

3. Compatibilidade e adaptabilidade deestágio de amostra multifuncional:

Adequado para testar amostras irregulares, como pós residuais, materiais em folhas e amostras de grande porte, evitando danos causados ​​por cortes ou triturações tradicionais.

Suporta tamanhos de amostra abaixo de 6 polegadas e interfaces de flange personalizáveis.

dois、 Campos de aplicação do suporte de amostra multifuncional

1. Tecnologia de filme fino paraestágio de amostra multifuncional: usado para tecnologias avançadas de crescimento de filmes finos, como MBE (epitaxia de feixe molecular), PLD (deposição de laser pulsado), pulverização catódica por magnetron, bem como recozimento de substrato, desgaseificação de alta temperatura e outros processos.

2. Análise por microscopia eletrônica do estágio de amostra multifuncional:

Microscópio eletrônico de varredura de campo frio: fixe a amostra com parafusos longos e ajuste a condutividade com arruelas de latão compatíveis.

Sistema TEM/FIB: integra delaminação in situ, testes de nanosonda e análise TEM para evitar contaminação ou danos causados ​​pela transferência de amostra.

3. Análise de falhas do estágio de amostra multifuncional: integração de processos de remoção de sítio atômico, testes elétricos e análise em sistemas FIB e TEM para melhorar a taxa de sucesso e a eficiência.

três、 Vantagens técnicas deestágio de amostra multifuncional

1. Integração e automação do estágio de amostra multifuncional: reduz a complexidade da operação manual por meio do design modular, suporta movimento geral e posicionamento preciso em ambiente de vácuo.

2. Alta confiabilidade do estágio de amostra multifuncional: usando interfaces de flange padrão (como CF50/CF40) para garantir vedação e compatibilidade.

3. Personalização da mesa de amostra multifuncional: o material de aquecimento, o comprimento do curso e o tipo de suporte de amostra (como tipo baioneta de 3 garras, tipo garfo inferior) podem ser selecionados de acordo com as necessidades.

De modo geral, o estágio de amostra multifuncional é um equipamento essencial para pesquisa de materiais e microanálise, comumente utilizado em instrumentos de difração de raios X. Seu valor reside na integração funcional, flexibilidade operacional e adaptabilidade a requisitos experimentais complexos. A seleção específica precisa corresponder aos módulos e parâmetros de desempenho correspondentes, de acordo com os cenários reais de aplicação (como tecnologia de filmes finos, análise por microscopia eletrônica ou análise de falhas).