A incidência de pastoreio significa que oRaio Xé exposto ao filme em um ângulo de incidência muito pequeno (<5°), o que reduz bastante a profundidade de penetração no filme. Ao mesmo tempo, o maior ângulo de baixa incidência aumenta a área de irradiação de raios X na amostra e aumenta o volume da amostra que participa da difração. O papel do GID na análise estrutural de filmes finos é apresentado neste artigo.
Exemplo: teste GID de filme de camada única
Neste exemplo, a amostra é um filme policristalino de RuO2 de 14 nm preparado sobre um substrato de silício monocristalino (100). Portanto, o sinal da amostra de filme fino no convencionalDRXO padrão é mascarado pelo sinal do cristal único de Si. Embora os picos de difração do filme fino possam ser vistos na imagem ampliada, o sinal é muito fraco. O espectro GID da amostra em um ângulo de incidência de 0,3 graus é mostrado na Figura 2. Não há sinal do substrato de cristal único de Si na figura, e o sinal do filme é óbvio.
Figura 1
Figura 2