HRXRD é um poderosoteste não destrutivométodo, e seus objetos de pesquisa são principalmente materiais de cristal único, materiais de filme fino epitaxial de cristal único e várias heteroestruturas semicondutoras de baixa dimensão. É amplamente utilizado para a medição de qualidade de cristal único, espessura, parâmetros celulares e outros parâmetros estruturais de filmes epitaxiais.
A varredura 2teta/ômega é usada para detectar espalhamento coerente de camadas atômicas paralelas à superfície e pode ser usada para determinar a composição de parâmetros celulares In, fora do plano, espessura e outros parâmetros.
o padrão de varredura 2teta/ômega do GaN (0002)cristalface
picos óbvios de oscilação da super-rede e franjas de interferência de filme fino entre os picos da super-rede.
RSM é um método intuitivo para analisar as incompatibilidades entre filmes finos e substratos e os defeitos de filmes finos. ModernoRHDRXo uso de detectores 1D pode melhorar muito a velocidade do teste; a aquisição rápida de um RSM leva apenas dezenas de segundos.
A imagem é o resultado de um ajuste de espectro completo da varredura 2teta/ômega. Pode-se observar que o mapa de ajuste está de acordo com os dados do teste. O conteúdo de In é um parâmetro importante no processo de crescimento. HRXRD é, portanto, uma ferramenta poderosa para monitorar o processo de deposição.
