Difração de raios X A técnica é frequentemente usada para detectar a qualidade do cristal de wafers e wafers epitaxiais. Com esta técnica de medição, informações como constantes de fase e rede, cristalinidade, densidade de discordância, tensão residual, composição e espessura podem ser obtidas. A Figura 1 mostra o diagrama esquemático de instrumentos convencionais de XRD.
De acordo com diferentes métodos de varredura, a Figura 2 mostra os graus de liberdade rotacional da fonte de raios X, detector e amostra.DRX a detecção possui os seguintes métodos de medição:
(1) 2º/eudigitalizar, ondeeugeralmente é metade de 2eu. É também um método de varredura comumente usado para medição de XRD de amostras de pó, também conhecido como varredura simétrica ou acoplada. Para amostras de filmes muito finos, o feixe de raios X pode ser fixado em um pequeno ângulo de varredura e o detector se move na direção de 2eupara coletar sinais. Esse método de detecção de ângulo pequeno também é chamado de detecção de XRD de incidência rasante. A estrutura de fase, deformação por tensão e tamanho de grão da amostra podem ser obtidos por meio de raios-Xdifraçãopicos varridos por 2θ/ω.
(2) Medição do gráfico polar. O diagrama polar é circular e geralmente é feito em coordenadas polares com coordenadas radiais eu e coordenadas angulareseu. É particularmente adequado para amostras de textura superficial. Em alguns casos, uma série ou completa de imagens polares não é necessária e pode ser medida usando uma varredura de azimute,euVarredura. Neste momento, as informações de orientação fora do plano precisam ser determinadas antecipadamente por 2eu/eudigitalização, e as informações internas da face do cristal podem ser obtidas por medição de imagem polar oueudigitalização, de modo a julgar ainda mais a simetria do cristal.
